立式真空太陽能擴散爐

 擴散爐     |      2019-07-22 19:23


一、 設備簡介
立式擴散爐,又稱:立式真空擴散爐、立式太陽能擴散爐、立式微控擴散爐,為我公司根據客戶需求定制的立式微控太陽能電池專用設備,用于太陽能電池片生產過程中對硅片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,該設備具有:關鍵部件進口、自動化程度高、溫度均勻、控制穩定等特點,是理想的科研及生產設備。

二、 主要技術指標(全部指標可定制)
1、外型形式:單管立式
2、硅片尺寸:156*156方片
3、裝片量:
單次可裝載25片156*156方形硅片,背靠背裝片模式
4、額定工作溫度:1200℃
5、工藝管:優質氣煉石英管
6、石英舟:立式石英舟
7、恒溫區長度:300mm
8、恒溫區精度:±0.5℃ /300mm
9、單點溫度穩定性、重復性:±0.5℃ /300mm
10、加熱器:可移動式加熱器,加熱器及石英管可自動升降
11、送取片方式:手動送取片
12、擴散方式:設備配置真空系統,支持負壓擴散方式
13、溫度控制:日本原裝 RKC 控溫儀,三段控溫方式
14、熱偶:spike + profile 雙熱偶控溫方式
15、加熱元件:瑞典康泰爾電阻絲
16、氣路:N 2 、O 2 、H 2 三路氣體,氣路管道為316L 耐腐蝕內拋光不銹鋼管。
17、流量計:進口 MKS 質量流量計
18、氣路系統密封性:1×10-7 Pa·M3 /S
19、真空系統:旋片真空泵
20、極限真空度:1.0*10-1 Pa
21、壓升率:≤0.7Pa/h
22、真空計:德國品牌真空計
23、控制系統:PLC+觸摸屏控制方式,自動/手動切換方便,溫度、流量按工藝自動調節
24、報警及保護:系統設有超溫報警及保護、斷偶報警及保護、真空系統閥門互鎖保護、缺水報警及保護
25、尾氣處理:設備配備尾氣處理系統,采用溶液吸收法吸收尾氣中的有害成分
26、冷水系統:設備配備冷水系統,用于保護密封裝置及冷卻加熱器外殼